SEMI S2には、半導体製造に使用される装置に対する作業環境、衛生及び安全について最低限考慮し、行わなければならない項目が述べられており、その要求事項は、化学、放射、電気、物理、機械、環境、火災、地震、排気、人間工学、さらに、品質、文書、マニュアルなどに及んでいます。

 

SEMI S2:Sec.25
非電離放射線及びフィールド/RF誘導・接触電流

  • RF誘導・接触電流試験の適合要求
    最近、米国の工ンドユーザーのみならず、日本や欧州のエンドユーザーからも、SEMI:S2のSec.25で規定されているRF誘導・接触電流の試験に適合していることを要求されることが多くなっています。
  • RF誘導・接触電流による非電離放射線の被爆レベルは、オペレータ被爆限界未満であること(25.2.1項)を規定.
  • 通常運転におけるRF誘導・接触電流による非電離放射線の被爆レベルは、オペレータ被爆限界未満であること(25.2.1項)を規定
  • 適合性を評価して文書化すべきであること(25.6節)、調査結果、防護手段の考察を、操作および保守マニュアルに記載すべきと規定

お気軽にお問い合わせください。03-3452-2668受付時間 9:00-18:00 [ 土・日・祝日除く ]

お問い合わせ