SEMI S6は、排気換気に関する環境,健康,安全のための ガイドラインです。

SEMI S2には、化学・排気換気・環境の規定がありますが、可燃性や毒性の気体・液体をプロセスで使用する装置は、SEMI S6の評価が必要になる場合があります。

毒性の気体が発生する可能性のある場合、通常時・メンテナンス時・単一故障時を想定して、排気換気により人体暴露が起きていないかを模擬試験で確認します。(試験方法はSEMI F15を参照。)

可燃性の気体が発生する可能性のある場合、電装品回りに気体が滞留しないかを模擬試験で確認します。(試験方法はSEMI F15を参照。)

QSESでは、S6に関するトレーサーガス試験、CIH、非引火性試験を行っております。

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