SEMIスタンダードは「半導体製造装置」の設計に際してのガイドラインです。
その中で、半導体製造装置を出荷する際に求められる環境健康&安全(EHS)に関する一般的なガイドラインがSEMI Sシリーズとなります。
当社では、電気/非電離放射/化学/機械/人間工学の専門家から構成されたエンジニアが、それぞれ貴社製品に対し専門的観点から安全調査を実施致します。また製品設計に至る安全課題を、お客様が納得されるまでサポートすることにより、お客様のお時間やコストを低減することをお約束致します。

 

SEMIガイドラインの安全調査

装置を半導体製造工場へ納入する際、SEMIガイドラインに従って製作されているか安全調査報告書を提出するよう要請される場合があります。
QSESは、装置の安全性についてS2及びS8をベースとし調査を実施します。

ご発注後の調査工程は、下図のように0~4のフェーズに区切り作業を行います。

フェーズ0
設計前調査とし、設計概念を知っていただくためにガイダンスの実施及び既存装置を改造することにより時間やコストが余計にかかることを防止するために、この設計前調査を実施することをお勧めしています。
フェーズ1
既存装置(類似機、開発機)を対象に不適合箇所の指摘、是正対策をご提案致します。
フェーズ2
フェーズ1で指摘した不適合項目に対して対象装置の図面レビュー及び製作途中の実機を調査致します。
フェーズ3
不適合項目が全て網羅されたことを確認し、SEMIで要求される電気試験、騒音試験等を実施いたします。全て完了後、安全調査報告書を提出致します。
フェーズ4
報告書や対象装置に関する問い合わせ等のフォローアップを致します。

SEMI S1:装置安全ラベルの安全ガイドライン

SEMI S1は、装置安全ラベル(警告ラベル)の内容およびフォーマットに対するガイダンスを提供し、使用する記号の例を与えます。 警告ラベルは「特定の危険源」に関する情報を伝達...

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SEMI S10:リスクアセスメントおよびリスク評価プロセスのための安全ガイドライン

SEMI S10の目的は一貫した実践的な方法で危険源の同定,リスクの見積り,リスク評価を実行するためのリスクアセスメントの一般原則を確立することにあります。 また、SEMI ...

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SEMI S14:半導体製造装置に対する火災リスクアセスメントと軽減のための安全ガイドライン

SEMI S14は、装置及び製品に対する火災および燃焼副生成物のリスクをアセスメント、軽減する上で助けとなる検討事項を提供します。 SEMI S14は資産の保護に適用し、人間...

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SEMI S22:半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン

記事執筆中(目標2018/8/31)

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SEMI S28:半導体製造装置用ロボットおよびロードポートの安全ガイドライン

記事執筆中(目標2018/8/31)

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SEMI E33:半導体製造装置のEMCのためのガイドライン

記事執筆中(目標2018/8/31)

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SEMI E78:装置の静電気放電および静電引力の評価, 制御のためのガイドライン

記事執筆中(目標2018/8/31)

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IEEE Std-519:電力システムの高調波抑制のための推奨および要求事項

記事執筆中(目標2018/8/31)

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SEMI S2:環境,健康,安全に関するガイドライン

 SEMI S2には、半導体製造に使用される装置に対する作業環境、衛生及び安全について最低限考慮し、行わなければならない項目が述べられており、その要求事項は、化学、放射、電気、物理...

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SEMI S8:人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン

SEMI S8は、SEMI S2の16項の人間工学に関する要求に加え、さらに詳しい人間工学に関する指針を示しています。 SEMI S8-0218 半導体製造装置の人間工学エン...

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SEMI S6:換気のための安全ガイドライン

SEMI S6は、排気換気に関する環境,健康,安全のための ガイドラインです。 SEMI S2には、化学・排気換気・環境の規定がありますが、可燃性や毒性の気体・液体をプロセス...

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SEMI S26:液晶製造装置の安全設計ガイドライン

SEMI S26は、液晶製造装置の安全設計ガイドラインです。 QSESでは、S26の取得をサポートしております。  

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SEMI S23:エネルギー効率に関するガイドライン

SEMI S23は、半導体製造装置で使用されるエネルギー,ユーティリティ,および材料の保全のためのガイドです。 QSESでは、S23に関する評価試験サービスを行っております。

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SEMI F47/F42:電圧サグイミュニティ

QSESでは、近年、大手半導体メーカーへ装置を納入する時の必須項目となりつつある『F47/F42 (Voltage sag immunity-電圧降下)試験』を、どこよりもいち早く...

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