SEMIスタンダードは「半導体製造装置」の設計に際してのガイドラインです。
その中で、半導体製造装置を出荷する際に求められる環境健康&安全(EHS)に関する一般的なガイドラインがSEMI Sシリーズとなります。
当社では、電気/非電離放射/化学/機械/人間工学の専門家から構成されたエンジニアが、それぞれ貴社製品に対し専門的観点から安全調査を実施致します。また製品設計に至る安全課題を、お客様が納得されるまでサポートすることにより、お客様のお時間やコストを低減することをお約束致します。

 

SEMIガイドラインの安全調査

装置を半導体製造工場へ納入する際、SEMIガイドラインに従って製作されているか安全調査報告書を提出するよう要請される場合があります。
QSESは、装置の安全性についてS2及びS8をベースとし調査を実施します。

ご発注後の調査工程は、下図のように0~4のフェーズに区切り作業を行います。

フェーズ0
設計前調査とし、設計概念を知っていただくためにガイダンスの実施及び既存装置を改造することにより時間やコストが余計にかかることを防止するために、この設計前調査を実施することをお勧めしています。
フェーズ1
既存装置(類似機、開発機)を対象に不適合箇所の指摘、是正対策をご提案致します。
フェーズ2
フェーズ1で指摘した不適合項目に対して対象装置の図面レビュー及び製作途中の実機を調査致します。
フェーズ3
不適合項目が全て網羅されたことを確認し、SEMIで要求される電気試験、騒音試験等を実施いたします。全て完了後、安全調査報告書を提出致します。
フェーズ4
報告書や対象装置に関する問い合わせ等のフォローアップを致します。

SEMI S2:環境,健康,安全に関するガイドライン

 SEMI S2には、半導体製造に使用される装置に対する作業環境、衛生及び安全について最低限考慮し、行わなければならない項目が述べられており、その要求事項は、化学、放射、電気、物理...

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SEMI S8:人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン

SEMI S8は、SEMI S2の16項の人間工学に関する要求に加え、さらに詳しい人間工学に関する指針を示しています。

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SEMI S6:TG、CIH、非引火性試験

SEMI S6は、排気換気に関する環境,健康,安全のための ガイドラインです。 SEMI S2には、化学・排気換気・環境の規定がありますが、可燃性や毒性の気体・液体をプロセス...

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SEMI S26:液晶製造装置の安全設計ガイドライン

SEMI S26は、液晶製造装置の安全設計ガイドラインです。 QSESでは、S26の取得をサポートしております。  

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SEMI S23:エネルギー効率に関するガイドライン

SEMI S23は、半導体製造装置で使用されるエネルギー,ユーティリティ,および材料の保全のためのガイドです。 QSESでは、S23に関する評価試験サービスを行っております。...

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SEMI F47/F42:電圧サグイミュニティ

QSESでは、近年、大手半導体メーカーへ装置を納入する時の必須項目となりつつある『F47/F42 (Voltage sag immunity-電圧降下)試験』を、どこよりもいち早く...

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