SEMl ガイドライン適合評価

SEMI S1は、装置安全ラベル（警告ラベル）の内容およびフォーマットに対するガイダンスを提供し、使用する記号の例を与えます。 警告ラベルは「特定の危険源」に関する情報を伝達...

SEMI S10の目的は一貫した実践的な方法で危険源の同定,リスクの見積り,リスク評価を実行するためのリスクアセスメントの一般原則を確立することにあります。 また、SEMI ...

SEMI S14は、火災および燃焼副生成物のリスクをアセスメント、軽減する上で助けとなる検討事項を提供します。SEMI S10リスクアセスメントにおいて、装置の火災リスクアセス...

記事執筆中（目標2018/8/31）

記事執筆中（目標2018/8/31）

SEMI E33は、半導体製造装置が電磁干渉による障害を発生することなく正常にオペレートすることを助けるためのガイドです。通常、この分野はEMC（電磁両立性）と呼ばれています。...

記事執筆中（目標2018/8/31）

記事執筆中（目標2018/8/31）

 SEMI S2には、半導体製造に使用される装置に対する作業環境、衛生及び安全について最低限考慮し、行わなければならない項目が述べられており、その要求事項は、化学、放射、電気、物理...

SEMI S8は、SEMI S2の16項の人間工学に関する要求に加え、さらに詳しい人間工学に関する指針を示しています。 SEMI S8-0218　半導体製造装置の人間工学エン...

SEMI S6は、排気換気に関する環境，健康，安全のための ガイドラインです。 SEMI S2には、化学・排気換気・環境の規定がありますが、可燃性や毒性の気体・液体をプロセス...

SEMI S26は、液晶製造装置の安全設計ガイドラインです。 QSESでは、S26の取得をサポートしております。  

SEMI S23は装置サプライヤに対して、装置がエネルギーに与える影響を減らすような設計またはプロセスの変更を検討および実施すべきとしています。また、装置サプライヤは、その装置...

QSESでは、近年、大手半導体メーカーへ装置を納入する時の必須項目となりつつある『F47/F42 (Voltage sag immunity-電圧降下)試験』を、どこよりもいち早く...