QSESでは、近年、大手半導体メーカーへ装置を納入する時の必須項目となりつつある『F47/F42 (Voltage sag immunity-電圧降下)試験』を、どこよりもいち早く対応し試験評価サービスを行っております。

  • SEMI F42:半導体プロセス装置の電圧サグに対する感受率の試験方法
  • SEMI F47:半導体 プロセス装置の電圧サグイミュニティのための仕様

SEMI F47はSEMI規格の中でEMCについて定められた規格で、中でもイミュニティ試験の項目である電圧ディップ・短時間停電について規定をしています。
EMC法規制がない地域でも、エンドユーザの要求によっては、SEMI F47の合格レポートの提出が要求される場合があります。

 

SEMI F47/F42 (Voltage sag immunity) 評価サービス
 
■SEMI F47/F42 (Voltage sag immunity)試験とは?
SEMI F47/F42は、半導体プロセス装置向けの規格の一つであり、半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が突然の電圧降下(半サイクルから数秒)を起こした状態をシミュレートし、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験です。
エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てに適用されます。
■電源容量の大きい装置にも対応
測定機器は、単相、三相問わずAC480 V 200 Aまでの装置に対応しています。また、工場内に測定機器を持ち込む事も可能ですので、御社のご希望の場所で試験評価が可能です。
■対策からレポート作成までをフルサポート
装置が誤動作を起こしても、不適合箇所を指摘し、是正対策や対策部品紹介までコンサルティングを行い、試験が適合するまでフルサポート致します。また、適合、不適合に関わらず、試験評価レポート(英文)を作成致します。

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