SEMI S10の目的は一貫した実践的な方法で危険源の同定,リスクの見積り,リスク評価を実行するためのリスクアセスメントの一般原則を確立することにあります。

また、SEMI S10を使用することにより、リスクの度合いを決定し、そのリスクを制御するための方策を開発するための手助けとなります。


リスクアセスメントフローチャート(SEMI S10-0815E P.3より抜粋)

①危険源の同定 ⇒ SEMI S10巻末あるいはSEMI S2で定義されている項目等を参照。

②リスクの見積り ⇒ SEMI S10付属書Ⅰの発生確率/危害のひどさを考慮すべき。

(SEMI S10-0815E日本語版 P.7より抜粋)

(SEMI S10-0815E日本語版 P.7より抜粋)

(SEMI S10-0815E日本語版 P.8より抜粋)

 

一例)

ウェハ搬送機メーカーにおいてリスクアセスメントを実施した結果、ウェハ搬送機内に置いて、ロボットによる押しつぶしの危険源を同定し、リスクランク2Cと見積もった。

リスク低減策としてSEMI S2を参照し、ドアインターロック機能を追加し、リスクランク “none” として、終了した。