SEMI S14は、装置及び製品に対する火災および燃焼副生成物のリスクをアセスメント、軽減する上で助けとなる検討事項を提供します。

SEMI S14は資産の保護に適用し、人間の保護には適用しません

SEMI S10リスクアセスメントにおいて、装置の火災リスクアセスメントはSEMI S14に譲っています。一方、SEMI S14のリスクの見積りの手法は、SEMI S10の方法を用いることが推奨されています。


SEMI S14では、大前提として、火災の3要素として燃料酸化剤発火源をあげています。

これら3要素のうち1つ以上を除去すれば、火災リスクは除去できます。

SEMI S14では、燃料、酸化剤、発火源について、リスクアセスメントを実施する上で考慮すべき事項につき詳細に記述をしています。実際のリスク低減策については、SEMI S2SEMI S6を参照することになります。

 

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