SEMI S14は、火災および燃焼副生成物のリスクをアセスメント、軽減する上で助けとなる検討事項を提供します。

SEMI S10リスクアセスメントにおいて、装置の火災リスクアセスメントはSEMI S14に譲っています。一方、SEMI S14のリスクの見積りの手法は、SEMI S10の方法を用いる必要があります。

SEMI S14-1016では、本ガイドラインの対象は資産のみに限定し、人間の保護には適用しないという規定がありましたが、SEMI S14-0521においてこの規定は削除されました。

SEMI S14では、大前提として、火災の3要素として燃料、酸化剤、発火源をあげています。

これら3要素のうち1つ以上を除去すれば、火災リスクは除去できます。

SEMI S14では、燃料、酸化剤、発火源について、リスクアセスメントを実施する上で考慮すべき事項につき詳細に記述をしています。実際のリスク低減策については、SEMI S2やSEMI S6を参照することになります。

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