SEMI S2には、半導体製造に使用される装置に対する作業環境、衛生及び安全について最低限考慮し、行わなければならない項目が述べられており、その要求事項は、化学、放射、電気、物理、機械、環境、火災、地震、排気、人間工学、さらに、品質、文書、マニュアルなどに及んでいます。

SEMI S2-1016 半導体製造装置の環境, 健康, 安全に関するガイドライン
「第11章 安全インタロック」

 

● 安全インタロックが作動すると装置または装置の関係部分を自動的に安全な状態にするべき。(11.3)

⇒ 例)オペレーション中にドアを開けると装置が通電状態でなくなる。また、ドアを閉じないと通電状態とならない。

● 安全インタロックシステムは耐欠陥性があり、(以下略)(11.5)

⇒ 耐欠陥性とは合理的に予見可能な単一故障の結果、安全側にはたらくことである。

一例として、ドアスイッチを安全インタロックシステムに組み込む場合、ドアスイッチはNC接点かつ、直接回路動作機能をもつものを選定すべきである。

 

「第12章 緊急シャットダウン(EMO)」

● EMOスイッチのリセットによって、回路、装置、またはサブアセンブリに通電すべきではない。(12.2.4)

● EMO回路は、電力が自動的に回復しないように、マニュアルリセットを必要とすべきである。(12.2.6)

⇒ EMOスイッチのリセットはマニュアル(人の動作)リセットにするべきであり、リセット後に自動的に通電しないようなシーケンスとすべきである。

例えば、タッチパネルでの起動命令やONボタンを押すことによって初めて通電すべきである。

 

以上はSEMI S2のほんの一例です。