SEMI S23は装置サプライヤに対して、装置がエネルギーに与える影響を減らすような設計またはプロセスの変更を検討および実施すべきとしています。

また、装置サプライヤは、その装置に関するエネルギーデータ、ユーティリティおよび材料使用率データ、改善ロードマップをユーザーに報告すべきとしています。


弊社では、実際の測定、あるいはお客様からの提出データに基づき、SEMI S23の換算を用いて、装置を1年間使用したときに消費する合計等価エネルギーの推定値を算出し、レポート提供いたします。

本レポートにより、パラメータ等の合否を問うものではなく、あくまで第三者としてのデータ提供となります。

本業務に関しては、半導体製造装置ユーザー様の要求により、装置サプライヤ様に対してレポート発行経験がございます。

お見積りが必要となる場合は装置ユーティティ情報を記載した装置仕様書をご提供ください。