SEMI S6は、排気換気に関する環境,健康,安全のための ガイドラインです。

SEMI S2には、化学・排気換気・環境の規定がありますが、可燃性や毒性の気体・液体をプロセスで使用する装置は、SEMI S6の評価が必要になる場合があります。

毒性の気体が発生する可能性がある場合、通常時・メンテナンス時・単一故障時を想定して、排気換気により人体暴露が起きていないかを模擬試験で確認します。(試験方法はSEMI F15を参照。)

可燃性の気体が発生する可能性がある場合、電装品回りに気体が滞留しないかを模擬試験で確認します。

QSESでは、S6に関するトレーサーガス試験、CIH、非引火性試験を行っております。


非引火性試験について SEMI S6-0618

 

SEMIや欧州防爆指令, 北米NFPA規格において爆発・火災の考え方は共通しています。

すなわち、図の3要素が揃った時に爆発・火災が発生するというものです。

逆にこのうち、1つ以上を取り除けば、リスクは無くなります。

SEMI S6のリスクマネジメントの1例として、爆発性ガスのLFL(Lower Flammable Limit)を25%未満に保つことが挙げられています。

引火性液体は、発火点が37.8℃以下と定義されています。これはNFPA704で危険度が2以上のものに該当します。