QSESでは、近年、大手半導体メーカーへ装置を納入する時の必須項目となりつつある『F47/F42 (Voltage sag immunity-電圧降下)試験』を、どこよりもいち早く対応し試験評価サービスを行っております。
- SEMI F42:半導体プロセス装置の電圧サグに対する感受率の試験方法
- SEMI F47:半導体 プロセス装置の電圧サグイミュニティのための仕様
SEMI F47はSEMI規格の中でEMCについて定められた規格で、中でもイミュニティ試験の項目である電圧ディップ・短時間停電について規定をしています。
EMC法規制がない地域でも、エンドユーザの要求によっては、SEMI F47の合格レポートの提出が要求される場合があります。
| SEMI F47/F42 (Voltage sag immunity) 評価サービス | |
| ■SEMI F47/F42 (Voltage sag immunity)試験とは？ | |
| SEMI F47／F42は、半導体プロセス装置向けの規格の一つであり、半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が突然の電圧降下（半サイクルから数秒）を起こした状態をシミュレートし、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験です。 エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てに適用されます。 |
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| ■電源容量の大きい装置にも対応 | |
| 測定機器は、単相、三相問わずAC480 V 200 Aまでの装置に対応しています。また、工場内に測定機器を持ち込む事も可能ですので、御社のご希望の場所で試験評価が可能です。 | |
| ■対策からレポート作成までをフルサポート | |
| 装置が誤動作を起こしても、不適合箇所を指摘し、是正対策や対策部品紹介までコンサルティングを行い、試験が適合するまでフルサポート致します。また、適合、不適合に関わらず、試験評価レポート（英文）を作成致します。 | |
| ■海外でも対応 | |
| 試験は海外地域でも自社対応致します。また、アメリカ・中国・韓国は現地試験機関に弊社から試験依頼することも可能です。 | |
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