SEMI E33は、半導体製造装置が電磁干渉による障害を発生することなく正常にオペレートすることを助けるためのガイドです。通常、この分野はEMC（電磁両立性）と呼ばれています。

SEMI E33-0217E 適合基準

  1. EMCの法規制がある地域ではそれらが優先される。
  2. 装置が欧州に設置される場合ではなくても、欧州EMC指令（2014/30/EU）への適合はSEMI E33の要求を満たすと考えられる。
  3. 製造者とエンドユーザーの話し合いで欧州EMC指令（2014/30/EU）に以下の事項を追加できる。

　　・SEMI E33 6項の合格判定基準の協議

　　・SEMI E33 付属書1に記載のあるELF（極極極超長波）およびEMF（電磁界）の追加試験

　　・瞬停試験の合格基準にSEMI F47を採用する。

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